近十多年來(lái), 隨著科學(xué)技術(shù)日新月異的改變,對(duì)產(chǎn)品的高密度化、細(xì)小型化需求更為迫切,同時(shí)也對(duì)無(wú)塵車(chē)間凈化技術(shù)的設(shè)計(jì)和發(fā)展提出了高質(zhì)量的要求。萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間在半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、等行業(yè)非常多見(jiàn)。小編就給大家來(lái)說(shuō)說(shuō)萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間有什么不同呢?
萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間的潔凈度等級(jí):要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類(lèi)潔凈室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。
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萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間參數(shù)要求換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次;100≥500次.壓差:主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa 平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃。溫度45-65%;GMP粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜;電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
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萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間的凈化要求:主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng),拌有回流或渦流,不同等級(jí)的凈化車(chē)間,主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現(xiàn)。
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