十級(jí)的無(wú)塵車(chē)間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè),采用FFU滿布,利用超高效空氣過(guò)濾器,地板用高架地板制作。
【了解更多】三十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、有害菌群等污染物排除。
【了解更多】百級(jí)無(wú)塵車(chē)間主要是根據(jù)車(chē)間的埃塵粒子來(lái)決定的,大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm的塵粒數(shù)為0。
【了解更多】