電子工業(yè),特別是迅速發(fā)展的亞微米工藝對(duì)生產(chǎn)場(chǎng)所空氣潔凈度要求特別高,而對(duì)潔凈度提出更高要求,生產(chǎn)車間的環(huán)境需要達(dá)到百級(jí)無塵車間。
百級(jí)無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、有害菌群等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),不論外在環(huán)境條件如何變化,無塵車間內(nèi)均能維持設(shè)定所要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能。
百級(jí)無塵車間 實(shí)力廠家設(shè)計(jì)施工
百級(jí)無塵車間主要是根據(jù)車間的埃塵粒子來決定的,大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm的塵粒數(shù)為0。
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